TC Wafer
TC Wafer
TC Wafer是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之間的溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測量值以及整片晶圓溫度分布；同時(shí)也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等。
上一個(gè)：
IC Wafer
下一個(gè)：
HQ-RTS-P系列 紅外光學(xué)溫度計(jì)
|
地址：陜西省西安市西咸新區(qū)空港新城臨空產(chǎn)業(yè)園11號(hào)樓
郵編：712033 電話：029-33312507 / 88887456 郵箱：sales@optsensor.com | 
|
陜ICP備11001248號(hào) CopyRight?西安和其光電科技股份有限公司